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  • Plasmaquelle
    S. Schweiger
    J. Ye
    S. Ulrich
    Abscheidung
    Aktorschicht
    Aluminiumnitrid
    Atomlagen
    Beschichtungskammer
    Bohrer
    Drehmomentsensoren
    Druckspannung
    Eisen-Kobalt
    Funktionsschicht
    Gasphase
    Hafniumaluminiumnidrid
    Hartmetallsubstrat
    HArtstoffschicht
    Impulsaustauschprozess
    Kobaltmatrix
    kondensieren
    magnetoelastischer Effekt
    Magnetonsputter
    magnetostriktive Multilayerschicht
    Mikrosystemtechnik
    multifunktional
    Multilayer
    negatives Potential
    Plasma
    Positionierung
    PVD-Technik
    Pysial Vspour Deposition
    Rissenergie
    Schichtdicke
    Schichten
    Schichtmaterial
    Schichtverbunde
    Schutzschicht
    Sensorschicht
    Standfestigkeit
    Substrat
    Targetoberläche
    Titanium
    Titannitrid
    transmissionselektronenmikroskopische Aufnahme
    Vakuumkammer
    Verschleiß
    Verschleißschutz
    Verschleißschutzschicht
    Viellagenschichten
    Viellagenverbund
    weichmagnetische Schichten
    Werkzeugoberfläche
    Wolframkarbit
    Wolframkarbit-Kristalle
    Zugspannung