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  • Deep X-ray lithography
    M. Werp
    beam line
    beam splitter
    BiliTesters
    clean room
    electroforming
    electron storage ring
    exposure pattern
    fluidic elements
    lens plate
    LIGA
    LIGA technique
    micro-optical bench
    micro-optics
    microfluidics
    micromechanics
    microspectrometer
    microstructures
    microstructuring
    microstructuring technique
    microsystems technology
    miniaturized turbines
    molding
    optical elements
    optical plug
    optical telecommunication
    photons
    resist
    resist full-scale
    resist layer
    sensor technologie
    shadow projection
    shortwave light
    spectrometer
    submicrometer
    substrate
    synchrotron radiation
    X-radiation
    X-ray scanner
    Deep X-ray lithography
  • Klebemaschine
    L. Hahn
    Anmischen
    auslaufender Kleber
    Benetzung
    BPO
    direktlithographische Erzeugnisse
    DMA
    DMA Reagenz
    Dosieren
    Dosiergerät
    Dosierschlauch
    Industrieroboter
    Kaltstarter
    Kerberzubereitung
    Klebepunkte
    Kleberkartusche
    Klebermasse
    Klebeschritt
    LIGA
    LIGA Verfahren
    Luftblasen
    Lufteinschlüsse
    MEMO
    Plexidon
    PMMA
    PMMA Plättchen
    Polymerisationsreaktion
    Positioniergenauigkeit
    Radikalbildner
    reproduzierbare Ergebnisse
    Silizium Wafer
    Steuerung
    Stritzenkanüle
    Stritzkanüle
    Substrat
    Substrathalterung
    Viskosität
    Klebemaschine
  • Mikrojubiläumstechnik
    J. Hoffmann
    ultraviolettes Licht
    sichtbares Licht
    schnelle Elektronen
    kundenspezifisch
    hohe Intensität
    gebeugte Strahlen
    elektromagnetisches Spektrum
    Wellenlänge
    Umweltforschung
    Technologien der Zukunft
    Synchrotronlichtquelle ANKA
    Synchrotronlichtquelle
    Supraleitung
    Strahlrohr
    Schlüsseltechnologien
    Röntgenstrahlung
    Ringbahn
    Pilotanwendungen
    Nanotechnologie
    Mikrozahnrad
    Mikrosystemtechnik
    Mikromechanik
    Mikrofertigung
    Metallstruktur
    Grundlagenforschung
    Energieforschung
    COMET-Konzept
    COMET Kernfängerkonzept
    Abformwerkzeug
    ANKA GmbH
    ANKA
    Medizintechnik
    Elektronenrastermikroskop
    Mikrobeschleunigungssensor
    ultrakleine Mechanik
    interdisziplinär
    Elektronenbeschleuniger
    LIGA-Verfahren
    LIGA
    Mikroturbine
    Mikropumpe
    Mikrojubiläumstechnik Zusammenfassung von FZK Aktivitäten zum Festvortrag beim Rotary Club
  • Mikrozugprüfmaschine
    A. Ilzhöfer
    H. Schneider
    J. Aktaa
    M Klotz
    berührungslose Dehnungsmessung
    Datenerfassung
    Dehnungskennlinien
    Duktilität
    einachsige Verformung
    einfache Probeneinspannung
    Einschnürung
    Elastizitätsmodul
    FE-Optimierung
    Haltezeit
    hohe Genauigkeit
    homogene Deformation
    keine Biegeeinflüsse
    Kraftmessung kleiner Kräfte
    Lastrahmen
    LIGA
    LIGA Material
    LIGA-Nickel
    Maschinensteuerung
    Meßelektronik
    Mikropumpe
    Mikrostruktur
    Mikrosystem
    Mikrozugprobe
    optisches Wegmesssytem
    Spannungskennlinien
    Streckgrenze
    Weg-Zeit-Rampe
    Werkstoffverhalten
    Werstoffmechanik
    Wärmebehandlung
    Zugfestigkeit
    Zugschwellungbereich
    Mikrozugprüfmaschine
  • Micro-Assembly (MIMOSE)
    U. Gengenbach
    adhesive
    assembly force
    automated assebly
    AVT/KEO
    curing light
    dispenser
    duplexer package
    electrical signals
    ferrule
    fiber groove
    German Federal Ministry for Education, Sciens and Technology
    graphic operator interface
    high-speed data networks
    hybrid microsystem
    joining systems
    joint project AVT/KEO
    large bandwidth
    LIGA
    LIGA board
    LIGA-techniques
    light guide
    LPKF Motion System
    magazine
    MFV Microsystem
    micro-optical duplexer
    micro-optical mounting board
    microsystems technology
    module converting
    multimedia
    optical duplexer
    optical fibres
    optical signals
    press-fitting
    reference product
    rotating axis
    spherical lenses
    telecommunication
    vacuum gripper
    videoconferencing
    wavelength filter
    workpiece
    x-y stage
    Micro-Assembly (MIMOSE)
  • Polymer microlences
    B. Gerlach
    C. Oßmann
    J. Göttert
    P. Ruther
    Aesculab AG
    BMBF
    cost effective manufacturing
    electroplating
    embossing
    endoscope
    German Federal Ministry for Edcation, Science, Research, and Technology
    glass lens production
    glass transition temperature
    injection molding
    LIGA Process
    LIGA technique
    manufacturing costs
    medical applications
    micro-objective
    micro-optical components
    microcylinder
    microelectronics
    microlenses array
    miniaturized imaging
    neuro-endoscope
    optical fiber
    photolithography
    plexiglas
    polycarbonate
    sensor systems
    spherical lens cap
    spherical surface
    surface tension
    telecommunication
    x-ray depth lithoraphy
    x-ray floodlight
    Polymer microlences
  • Magnetic Microactuators
    B. Rogge
    ceramic substrate
    coil stack
    elecroforming coil stacks
    electoplated
    fabrication
    key component
    LIGA process
    manufactoring technique
    micorelay
    microtester
    nickel-iron
    PMMA layer
    resonance frequency
    sacrifical layer
    test setup
    x-ray lithography
    Magnetic Microactuators
  • MOMOSE englisch
    xy-table
    wavelenght filter
    vacuum gripper
    vacuum clamping plate
    stereo microscope
    spherical lens
    positioning marker
    pneumatic valves
    picking
    part assembly
    optical fibers
    optical fiber network
    optical fiber
    optical duplexer
    motion system
    motion
    microsystem
    micro-optical monting board
    micro-optical duplex modul
    micro-assemby system
    magazine
    lifting-rotation
    large bandwidth
    interference immunity
    hybrid microsystem
    high-speed date networks
    high efficiency
    gripping process
    gripper replacement system
    force sensor
    control
    compressed air flow
    component fixing
    automated assembly
    MFV mirosystem project
    LPKF-Thuringia
    LPKF-SMCU system
    LIGA baseplate
    AVT/KEO project
    assembly process
    MOMOSE englisch
  • Mikromontage
    D. Maas
    D. Seidel
    E. Eberle
    F. Engelhardt
    G. Lang
    J. Göttert
    R. Scharnowell
    U. Gengenbach
    W. Augenstein
    Anschlagstifte
    automatisierte Montage
    AVT/KEO
    Bandbreite
    Bewegungssystem
    BMFT-Verbundprojekt
    definierte Orientierung
    definierte Position
    Druckluftstrom
    Duplexer
    Fixierung
    Fügesystem
    Fügevorgänge
    Glasfaser
    Greiferwechselsystem
    Greifsystem
    Hochgeschwindigkeitsdatennetze
    hybrites Mikrosystem
    Kraftsensor
    LIGA Grundplatte
    LPKF-Controller
    LPKF-SMVU Steuerung
    LPKF-Thüringen
    Magazine
    MFV-Mirkosysteme
    Mikrooptische Aufbauplatte
    Mikrosystemtechnik
    Montagevorgang
    Montagevorgänge
    optischer Duplexer
    Pneumatikventile
    Positionierhilfe
    Sauggreifer
    Schwenkbewegungen
    Stereomikroskop
    Steuerung
    Störsicherheit
    Teilebereitstellung
    Vakuumspannplatte
    Verbundprojekt AVT/KEO
    Wellenlängenfilter
    x-y Tisch
    Mikromontage
  • LIGA Maskenjustiersystem CALIMA
    Bernd Köhler
    Autofokus
    automatische Korrektur
    bewegliche LIGA Mikrostrukturen
    Bildverarbeitsalsgorithmus
    CCD Kamera
    Dedektonsalgorithmus
    digitale Bildverarbeitung
    einstellbare Federelemente
    Fokus
    fokusieren
    Grawertdiferenz
    Grobpositionierung
    Justierkreuze
    Justierung
    Justiervorrichtung
    Kontrastoptimierung
    Korrektur
    Korrelationsverfahren
    kreisförmige Marken
    Kreuzsteg
    Laserautofokus
    Laserautofokus des Mikroskops
    lateral Verschieben
    LIGA Maske
    LIGA Technik
    Markenzentren
    Maske Ausrichten
    Mikrometerschrauben
    Mikromotor
    motorisierter x-y Tisch
    Opereteur
    rechnergesteuerstes Mikroskop
    Sehfeld
    Stellspindeln
    Substrat
    Substratebene
    Substratmarkenebene
    Tischkoordinaten
    Tischposition
    LIGA Maskenjustiersystem CALIMA
  • FZK Instrument der Forschungspolitik
    INSEL Film
    W.M Lehmann,
    G. Peters
    G. Zauner
    Kernforschungszentrum
    Reaktorsicherheit
    Information
    Tieftemperaturtechnologie
    Euratom Vertrag
    Überwachungssystem
    Schleuse
    Überwachungsschleuse
    Hüllrohrtemperatur
    Gasinnendruck
    Brennstabsimulatoren
    schmelzendes Core
    Kühlmittelverluststörfall
    Salzspray
    radioaktive Wolke
    Ausbreitungsdiagramm
    200m Messmast
    Messmast
    Ausbreitungsverhalten
    Ausbreitung radiologischer Stoffe
    Ausbreitung
    Risikobeurteilung
    Sicherheitseinriichtungen
    Störfallfolgen
    Sytemverhalten bei Störfällen
    Radiologischer Umgebungsschutz
    Projekt nukleare Sicherheit
    PNS
    Atomwaffensperrvertrag
    endlagerfähig
    Transportbehälter
    Schutzbehälter
    Frachtschiff Otto Hahn
    Brennelementbündel
    Abschirmung
    Zwischenlager für abgebrannte Brennelemente
    Zwischenlager
    Absetzbecken
    bestrahlte Kernbrennstoffe
    Brennstoffe
    Jodabscheidung
    Filterprüfstand
    radioaktives Jod
    Aerosole
    Stickoxyde
    Auflöserabgas
    Abgasversuchsstand
    Absetzvorgänge
    Pulsaator
    elektrolytische Pulskolonne
    Pulskolonnen
    Flüssig Flüssig
    Extraktion
    Spaltprodukte
    hochaktive Kernbrennstoffe
    Entsorgung von Kernkraftwerken
    Entsorgung
    Abfallbehandlung
    WAK
    Wiederaufarbeitungsanlage
    Wiederaufarbeitung
    SNR300
    Reaktorbaustelle Kalkar
    Reaktorbaustelle
    Kalkar
    Reaktorschleuse
    Brüterkernkraftwerk
    Kopapte Natrium Gekühlte Kernreaktor Anlage Karlsruhe
    KNK
    Kühlmittel
    Großtechnische Erprobungsanlage
    Flüssiges Natrium
    Natrium
    Siedevorgänge
    Versuchsstände
    Computer
    Schliffbilder
    Langzeittest
    mechanische Belastung
    Hochvakuum
    Materialprüfung
    Brennelement
    Brennelement Lademaschine
    Entlademaschine
    Belademaschine
    Schnelle Null Energie Anordnung Karlsruhe
    SNEAK
    Experimentiereinrichtung
    PU-239
    Uran 238
    U-238
    Plutonium
    Kernbrennstoff
    Brutvorgang
    Brennstoffversorgung
    Projekt Schneller Brüter
    Schneller Brüter
    Umweltforschungsprogramm
    Energieforschungsprogramm
    Forschungspolitik
    angewandte Forschung
    Großforschungseinrichtung
    Großforschung
    Energie
    Forschung
    Historie
    Kernforschung
    Atomreaktor
    Kernreaktor
    endlagerfähige Form
    Salpertersäure
    Restsalpetersäure
    Metallnitrate
    Denitrirungsanlage
    hochaktive Spaltprodukte
    Verglasung
    Einschmelzen
    stabile Gläser
    Gläser
    Endlagerung
    Borsilikatglas
    Glaskeramik
    schwachaktive Abfälle
    mittelaktive Abfälle
    Zwischenlagerung
    Spezialbehälter
    Endlagerstätte
    Prozellautomation
    automatische Überwachung
    Kontrollraum
    Trenndüsenverfahren
    Leichtwasserreaktoren
    Biblis
    Kernkraftwerk Biblis
    Urananreicherung
    Trennrohre
    LIGA
    Brasilien
    Brasilienvertrag
    Supraleitung
    absoluter Nullpunkt
    Kälteanlagen
    Kältetransportmittel
    Helium
    Kryostate
    Hochfrequenzsupraleitung
    Linearbeschleuniger
    Hochspannungsanlage
    Wasserstoffatome
    Supraleitungsforschung
    Hochleistungsmagnete
    Brennstoffinjektor
    Fusionsprogramm
    Datenverarbeitung
    Systemanalyse
    Prozesslenkung
    rechnergestützterEntwurf
    CAD
    Angewandte Systemanalyse
    Farbvideodisplay
    KARLAS
    IBM 370
    Grundlagenforschung
    Materialfoschung
    Festkörperforschung
    Strahlenbiologie
    Zyklotron
    Experimentierhalle
    Reaktormaterialien
    Uranoxyd
    Vakuumkammer
    Handschuhkasten
    Handschuhbox
    Radiochemie
    Heiße Chemie
    Strahlenarten
    biologische Wirksamkeit
    Pi-Mesonen
    Strahlentherapie
    Neutronengeneratorröhre
    Abschirmkugel
    Strahlenquelle
    Strahlenmedizin
    Sondendedektor
    Bodycounter
    Heiße Zellen
    FR2
    Forschungsreaktor
    Grundlagenuntersuchungen
    nukleare Festkörperforschung
    Radionuklidtechnik
    Messtation in Rhein
    Messmast im Rhein
    Wärmehaushalt
    Fließgewässer
    Phosphat
    Klähranlagen
    absortive Reinigung
    Industriegewässer
    Aluminiumhydroxyd
    Verschleißmessungen an Motoren
    Verschleißmessungen
    FZK Instrument der Forschungspolitik
  • "Forschung für Energie und Umwelt" (1986)
    John Salas
    Klaus Körting
    Gerd Scholz (Kamera)
    Martina Höbel-Kandutsch (Schnitt)
    Ekkehard Beyer (Regie)
    Eberhard Fingado (Produktion)
    J. Salas
    K. Körting
    G. Scholz
    M. Höbel-Kardutsch
    E. Beyer
    Abstrahlung
    Gyrotron
    Hochfrequenzsender
    Mikrowellen
    elektromagnetische Wellen
    Kernverschmelzung
    Botoncontainer
    Vergießen mit Beton
    Eingießen in Beton
    Stahlfässer
    Presslinge
    Hochdruckpresse
    Schrottpresse
    Kontaminierter Schrott
    Verarbeitung nuklearer Abfälle
    endlagergerechte Verarbeitung
    endlagergerecht
    Fernbedienungstechnik
    Plutionumdurchsatz
    elektrochemisches Trennverfahren
    Reduktion radioaktiver Abfälle
    Tankmodell
    Kühlmittel Strömung
    Naturkonvektion
    Nachwärme
    Pfade der Kühlmittelströmung
    Kühlexperiment
    unabhängig vom Uranimport
    Brennstoffversorgung von Leichwasserreaktoren
    plombierte Kamera
    Brennelementlager
    Überwachung des Kernbrennstoffs
    Missbrauch von Kernbrennstoff
    Entwicklung der Kernenergie
    deutsche Druckwasserreaktoren
    Druckwasserreaktor
    Wechselwirkung Kernschmelze Beton
    Kernschmelzunfall
    Reaktorsicherheitsforschung
    Wiederaufarbeitungstechnik
    hochradioaktive Brennelemente
    ungeklärte Entsorgung
    Bestrahlungsexperimente
    materialtechnische Versuche
    Kompakte Natrium gekühltte Kernreaktoranlage
    MZFR
    Mehrzweckforschungsreaktor
    Brennstoffentwicklung
    Urzelle deutscher Kernforschung
    Wiederaufarbeitung
    WAK
    Kernforschungszentrum
    Reaktorsicherheit
    Information
    Forschung
    Energie
    Tieftemperaturtechnologie
    Euratom Vertrag
    Schleuse
    Kühlmittelverluststörfall
    Ausbreitungsdiagramm
    Risikobeurteilung
    Sicherheitseinriichtungen
    Störfallfolgen
    Radiologischer Umgebungsschutz
    endlagerfähig
    Transportbehälter
    Abschirmung
    Absetzbecken
    Absetzvorgänge
    Pulsaator
    Pulskolonnen
    Flüssig Flüssig
    Extraktion
    Spaltprodukte
    hochaktive Kernbrennstoffe
    Entsorgung von Kernkraftwerken
    Entsorgung
    Abfallbehandlung
    Wiederaufarbeitungsanlage
    Reaktorbaustelle Kalkar
    Reaktorbaustelle
    Kalkar
    Reaktorschleuse
    Brüterkernkraftwerk
    Kopapte Natrium Gekühlte Kernreaktor Anlage Karlsruhe
    KNK
    Kühlmittel
    Großtechnische Erprobungsanlage
    Flüssiges Natrium
    Natrium
    mechanische Belastung
    Hochvakuum
    Materialprüfung
    Brennelement
    Schnelle Null Energie Anordnung Karlsruhe
    SNEAK
    PU-239
    Uran 238
    U-238
    Plutonium
    Kernbrennstoff
    Brutvorgang
    Brennstoffversorgung
    Projekt Schneller Brüter
    Schneller Brüter
    Umweltforschungsprogramm
    Energieforschungsprogramm
    Forschungspolitik
    angewandte Forschung
    Großforschungseinrichtung
    Großforschung
    Historie
    Kernforschung
    hochaktive Spaltprodukte
    Verglasung
    Einschmelzen
    stabile Gläser
    Gläser
    Endlagerung
    schwachaktive Abfälle
    mittelaktive Abfälle
    Zwischenlagerung
    Spezialbehälter
    Endlagerstätte
    Trenndüsenverfahren
    Leichtwasserreaktoren
    Urananreicherung
    Trennrohre
    LIGA
    Brasilien
    Supraleitung
    absoluter Nullpunkt
    Kälteanlagen
    Kältetransportmittel
    Helium
    Kryostate
    Hochfrequenzsupraleitung
    Fusionsprogramm
    Datenverarbeitung
    Systemanalyse
    Prozesslenkung
    Experimentierhalle
    Reaktormaterialien
    Vakuumkammer
    Handschuhkasten
    Handschuhbox
    Radiochemie
    Heiße Chemie
    biologische Wirksamkeit
    Heiße Zellen
    Messtation in Rhein
    Manipulatoren
    Wackersdorf
    Brüterbrennsoffe
    Spaltprodukt
    Erprobung von Vefahrensschritten
    radioaktive Abgase
    Umgebungsschutz
    radioaktive Edelgase
    flüchtige Verbindungen
    Abgasfilterung
    Handhabung von Filtern
    Abgasreinigungsanlage
    Tropfenabscheider
    Schwebschtoff
    Schwebstofffilter
    Jodfilter
    Endlagergerechte Verpackung
    Zwischenlager
    Bundesendlager
    Verglasungstechnik
    hochaktive flüssige Abfälle
    chemisch stabiles Glas
    Kokillen
    Glaskokillen
    luftdicht verscheißt
    abgeschaltete Kernkraftwerke
    KKN
    Kernkraftwerk Niederaichbach
    vollständige Demontage eines Kernkraftwerks
    Anlage zur Brennelementbeschickung
    Drehmanipulator
    Kernreaktor Sonne
    CAD Technik
    CAD
    Schema Fusionsreaktor
    Wasserstoffgas
    Einschluss in Magnetfeld
    berührungsfreier Einschluss
    100 Millionen Grad
    Deuterium
    Tritium
    schwerer Wasserstoff
    überschwerer Wasserstoff
    Tritium erbrüten
    litiumhaltige Keramik
    Imagefilm der Kernforschungszentrums Karlsruhe von 1986 von Herrn Körting initiiert